图1：可同时检测制造现场的粒子、温度及湿度的“AR THERMO SENSOR形ZN-TH11-S”。(点击放大)

图2：与粒子传感器“形ZN-PD03-S”及“形ZN-PD50-S”连接。(点击放大)

欧姆龙2009年10月23日上市可同时检测粒子(微粒子及粗粒子)、温度及湿度的传感器“AR THERMO SENSOR形ZN-TH11-S”(图1)。生产充电电池时，除粒子外，湿度也会对产品寿命造成很大影响。因此，通过在生产工序中同时检测粒子、温度及湿度，可实现最佳的生产环境，同时还可对生产环境进行高效管理。另外，汽车等的涂装工序也与粒子浮游、温度及湿度关系密切。因此，同时对这些因素进行检测、管理并使其转换为数据，可有效提高产品的质量。

通过将新传感器与现有的粒子传感器“形ZN-PD03-S”及“形ZN-PD50-S”连接，可在粒子传感器的显示部位显示温度、湿度及简易露点(图2)。新传感器可在温度为－25～＋65℃，湿度为0～99%的范围内进行检测。在25℃环境下，温度检测精度为±0.3℃，湿度检测精度为±2.5%RH。分解能方面，温度及湿度分别为0.1℃和0.1%RH。

该产品符合RS-422标准，采用该公司的标准串行通信协议(Compoway/F)作为通信协议。与该公司生产的通信转换器连接时，可将新传感器USB连接到个人电脑上，因此即使没有粒子传感器，也可获得温度、湿度及简易露点数据。

如果在新传感器内部设定各检测数据的告警级别(Alarm Level)，超过告警级别设定值时，传感器的显示灯就会不停闪烁。因此，新传感器还可作为现场温度及湿度的警告显示灯使用。

通过使连接新传感器的粒子传感器与个人电脑进行LAN连接，使用专用软件“WaveInspireES Ver2.0形ZN-SW11-S”，可将粒子传感器的数据及温度、湿度数据用图形显示出来。可在一个画面上同时显示温度、湿度数据及粒子数据，因此能轻松了解各数据之间的关联性。可用图形来确认每天的数据变化，有助于对可追溯性及故障进行分析。

由于能以JPEG等图像文件格式存取用户的现场布局图，并在上面显示传感器的检测值，因此可轻松掌握制造现场的清洁度及温度湿度分布状态。通过分析这些数据，还可实现能源使用量的“可视化”。

联络处：欧姆龙工业自动化产业集团ASC推进业务部 洁净部电话：+81-75-344-7211